真空鍍膜（mó）機精（jīng）抽太（tài）慢主要從以下幾個方麵進行原因查找：
　一、擴散泵可能不太給力。
　解決辦法：可以用電離規單接到擴散泵泵口，看擴散泵單（dān）抽能達到多少，要看（kàn）抽的時間和極限，然後進行對（duì）比。
    二、真空係統有微漏（lòu）。
　解決辦法：這就需要慢慢檢漏，看看（kàn）保真空（kōng）時間能不能（néng）達不（bú）達標。
　三、箱（xiāng）體太髒，太髒放氣（qì）量就大了。
　解決辦法（fǎ）：清洗箱體
　四、前級真空度不行，機械泵或機（jī）械泵加羅茨泵的（de）極限真空不行。
　解決辦法（fǎ）：可以（yǐ）用電阻規單獨（dú）檢（jiǎn）測（cè）前級管道。

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