彩色係膜層和常規色膜層區別就是C值和H值，所以可以說，黑色也是彩色係膜層。

鋯＋氮氣：黃綠調（diào）金黃色（sè）
鋯＋甲烷：深淺黑色
鋯＋氧（yǎng）氣：白（bái）色（sè）、透明（míng）膜（mó）
鋯＋氮氣＋甲烷：金色、仿玫瑰金

鉻（gè）＋甲烷（wán）：深淺黑（hēi）色（sè）
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧（yǎng）氣：輕黃色（sè）、紫色、綠色

SUS＋氧氣：紫色
SUS＋氮氣：藍（lán）色
SUS＋甲烷：亮黑（hēi）色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色（sè）

矽＋氮氣：黑色
矽＋氧氣（qì）：混濁白、透明膜（mó）
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色、黑色(靶材（cái）純度高於99%僅能調黑色)

鈦＋氧氣：光學（xué）膜（mó）七彩（cǎi）截（jié）色，不多介紹都懂。
鈦＋甲烷：深淺黑色( DLC製備不能達標)
鈦＋氮（dàn）氣：仿金色、黃銅色、紫色、紅色（sè）
鈦＋氮（dàn）氣＋甲烷：仿玫瑰金、黑綠色、複古黃、棕色、紫色

鎢＋氮氣：棕黃（huáng）色
鎢＋甲烷：深淺黑色
鎢＋氧氣：紫色，鮮黃色，棕色，藍色

以上僅裝飾薄膜常用（yòng）材料及其常用氣體，通常甲烷和乙炔都可互替，但（dàn）涉及部分顏色甲烷效果更好。

下一個：磁控濺（jiàn）射過程中常見問題（tí）的（de）解決方（fāng）案