SF係列電子束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:22868
SF係列電子束(shù)蒸發光學真空(kōng)鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中(zhōng),直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從(cóng)表麵汽化逸(yì)出後入射到基片表麵凝(níng)結成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度(dù)大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍(wéi)

光學(xué)鍍膜設備可鍍製層數較多的(de)短波(bō)通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜(mó)、帶通膜、介質(zhì)膜、高(gāo)反膜、彩色反射膜等各種(zhǒng)膜係(xì),能夠實現(xiàn)0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反(fǎn)光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要(yào)求。配置不同的蒸發源、電子槍(qiāng)和離子源及膜厚儀(yí)可鍍多種膜係(xì),對金屬、氧化物、化合物(wù)及其他高(gāo)熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係(xì)統聯合實現對(duì)整(zhěng)個工(gōng)作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學(xué)領域行(háng)業,大規模工業生產要求的廠商(shāng)使(shǐ)用。

技術參(cān)數表

SF係列電子束(shù)蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組(zǔ)KT500擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組(zǔ)雙(shuāng)KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜(mó)輔助離子專用(yòng)電源或霍爾離(lí)子源(yuán)
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚(hòu)監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限(xiàn)真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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