當前位置:首頁|HL係列多弧離子真空鍍膜機
工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點
技術參數表
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組(zǔ) | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱(zhù)形弧靶(可選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統 | 低溫離子輔(fǔ)助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量(liàng)流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控(kòng)製方式 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全(quán)自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備(bèi)注(zhù) | 以上設備參(cān)數(shù)僅做參考(kǎo),具體均按客戶實(shí)際工(gōng)藝要求設計訂做(zuò) |