CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:66668

CJ係列磁控濺(jiàn)射(shè)真空鍍膜機(jī)

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物(wù)體,從(cóng)而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在(zài)1842年Grove在實驗室中(zhōng)就發現了這種(zhǒng)現(xiàn)象。磁控濺射靶采(cǎi)用靜(jìng)止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均(jun1)勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸(zhóu)圓柱靶。電子(zǐ)在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原(yuán)子發生(shēng)碰撞。若(ruò)電子(zǐ)具(jù)有(yǒu)足夠的能量(約(yuē)為30ev)時,則電(diàn)離出Ar+並產生電子,電子飛(fēi)向基片,Ar+在電場作用下,加速(sù)飛向陰(yīn)極(jí)(濺射(shè)靶)並以高能量轟擊靶(bǎ)表(biǎo)麵,使靶材發生濺(jiàn)射。 

應用範(fàn)圍

廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾夫球(qiú)頭(tóu)、工(gōng)藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模(mó)具的功能(néng)塗層,在鍍製超黑膜、純(chún)金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產品(pǐn)特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大(dà)的表麵上獲得厚度(dù)均勻的膜層;
2)、薄膜(mó)與基片(piàn)的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注(zhù)入現象,在基(jī)片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶(róng)合的偽擴散層;
3)、製(zhì)備特殊材料的薄(báo)膜,可以使用不同的材料同時濺射製備(bèi)混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直接常溫(wēn)冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技(jì)術參(cān)數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組
鍍膜係統直流(liú)或中(zhōng)頻電源、鍍(dù)膜輔助離(lí)子專用電(diàn)源
充氣係統質量流量計質量流(liú)量(liàng)計質量流(liú)量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計
控製方式手動或(huò)全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或(huò)全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶(hù)實際(jì)工藝要求(qiú)設計(jì)訂做
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