SF係列(liè)電子束蒸發光學真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-13 10:14:16 人氣:22862
SF係列電(diàn)子(zǐ)束蒸發光學真空(kōng)鍍膜(mó)機

工作原理

電(diàn)子(zǐ)束蒸發是(shì)將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加(jiā)熱,使膜材中的原子(zǐ)或分子(zǐ)從表麵(miàn)汽化逸出後入射到基片表麵凝(níng)結成(chéng)膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純(chún)度高。

應用範圍

光學鍍(dù)膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各(gè)種膜係,能(néng)夠實現0-50層膜的膜係鍍(dù)膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼(yǎn)鏡片(piàn)、光學鏡頭、冷光杯等產品(pǐn)的鍍膜要求。配置不同的蒸(zhēng)發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍(dù)多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石(shí)英晶體膜厚儀(yí),采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動(dòng)控製,工作效率和(hé)產品(pǐn)質量重複性一致性優良.
2)適(shì)用於光學領域行業,大規模工(gōng)業生產要求的廠(chǎng)商使用。

技術參數表

SF係(xì)列電(diàn)子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍(dù)膜係統電子槍蒸(zhēng)發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強(qiáng)控製儀
控製方式手動或半自動(dòng)
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限(xiàn)真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注(zhù)以上(shàng)設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做
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