CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:66444

CJ係(xì)列磁(cí)控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺(jiàn)射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是(shì)用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現(xiàn)象(xiàng)。早在1842年Grove在實驗室(shì)中就(jiù)發(fā)現了這種現象。磁控濺射靶(bǎ)采用靜止電磁場,磁場為曲(qǔ)線形,均勻電場和對數(shù)電場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加(jiā)速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電(diàn)離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用(yòng)下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手(shǒu)機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性(xìng)鍍膜及工模具(jù)的(de)功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金(jīn)裝飾膜、導電膜等(děng)領(lǐng)域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製(zhì)預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可(kě)以在較大的表麵上獲(huò)得厚度均勻的(de)膜層;
2)、薄膜(mó)與基(jī)片的附著力強。部分高能量的濺射原(yuán)子產生不同程度(dù)的注(zhù)入現象,在基片上形成一層(céng)濺射原子與基片原子(zǐ)相互溶合(hé)的偽擴(kuò)散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射(shè)製備混合膜、化合膜,還可(kě)濺射(shè)成TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺射膜(mó)層中不會混入坩鍋加熱器(qì)材料的成份。
5 )、裝備低溫離子(zǐ)輔助源,無(wú)需(xū)加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省(shěng)電,提高產(chǎn)能(néng)。

技術參數表

CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組KT800擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜(mó)係統直流或中頻電源、鍍(dù)膜輔助離子專用電源
充氣係統質量流量計質量流量計質(zhì)量流(liú)量計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計質量流(liú)量計
控製方式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動(dòng)手動或(huò)全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考(kǎo),具體(tǐ)均按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂(dìng)做
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