工作原理
WJZ係列無介質獨立膜電(diàn)阻蒸(zhēng)發真(zhēn)空鍍膜機的原理是在真空室中(zhōng)將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用(yòng)電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的(de)金屬分子產生飛逸沉積於基材的表麵上形(xíng)成鋁、錫等純金屬薄膜層,出爐後將膜層從(cóng)特別(bié)的基材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性(xìng)、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用範(fàn)圍
產品特點
技術參數(shù)表
WJZ係列無介質獨立膜電阻(zǔ)蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵(bèng)機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 電阻蒸發源+圓(yuán)柱磁控多(duō)弧(hú)(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係(xì)統 | 低(dī)溫離子(zǐ)鍍膜電(diàn)源 | ||||||
充(chōng)氣係統(tǒng) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |