工作原(yuán)理
應(yīng)用範圍
產品特點
技術參數表
CJHL係列磁控多弧真空(kōng)鍍膜機(jī) | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真(zhēn)空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散(sàn)泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 |
鍍(dù)膜係統 | 直(zhí)流電源(yuán)或中頻電源+多弧鍍膜電源、多功能孿生磁環弧(hú)靶+矩形平麵靶+圓柱磁控(kòng)多弧兩用靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助(zhù)源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) |
控製方(fāng)式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自(zì)動(dòng) | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參(cān)考,具體(tǐ)均按客戶實際工藝要求設計訂做 |