SF係列電(diàn)子束蒸發光學真空鍍膜(mó)機

日期:2016-01-13 10:14:16 人(rén)氣:22867
SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放(fàng)入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材(cái)中的原子或分子從表麵汽化逸(yì)出後入(rù)射到基(jī)片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快(kuài),製成的(de)薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短(duǎn)波通、長波通(tōng)、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反(fǎn)射膜等(děng)各種膜(mó)係,能夠實現0-50層膜的(de)膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求。配置不同的蒸發源、電子(zǐ)槍和離子源及膜厚儀可鍍多(duō)種膜(mó)係,對金屬、氧化物、化合(hé)物及(jí)其(qí)他高熔點膜(mó)材皆(jiē)可蒸鍍(dù)

產品特點

1)  光學鍍膜配備有(yǒu)石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個(gè)工作(zuò)過程(chéng)的自(zì)動控製,工作效率和產品(pǐn)質量重複性一致性優良.
2)適(shì)用於光學領域行業,大規模(mó)工業生(shēng)產要求的廠商使用。

技術參(cān)數表

SF係列(liè)電子束蒸發光學真(zhēn)空(kōng)鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍(huò)爾離子源
充氣係統壓強控製(zhì)儀
控製方式手動或半自動(dòng)
膜厚監控係統石英晶體(tǐ)膜厚監控係統
抽氣(qì)速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂做
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