工作原理
WJZ係列（liè）無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理是在真空（kōng）室中將（jiāng）金屬材料（鋁、鎳、錫等）利用電阻蒸發技術將材料汽化，汽化後（hòu）的金屬分子產生飛逸沉積於基材的表麵上形成鋁、錫（xī）等純金屬薄膜層，出爐後將膜層（céng）從特別的基材表麵（miàn）可輕輕剝落，形成無介質獨立性的厚度（dù）為（wéi）2-3μm，具有一定彈（dàn）性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用（yòng）範圍
產品特點
技（jì）術參數（shù）表
| WJZ係（xì）列無介（jiè）質獨立膜電阻蒸發（fā）真空鍍膜機 | |||||||
| 型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
| 真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
| 真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵（bèng）機組 | 雙KT800擴散（sàn）泵機組 |
| 鍍膜係統 | 電阻蒸（zhēng）發（fā）源+圓柱磁控多弧（可選配） | ||||||
| 鍍（dù）膜輔助係（xì）統 | 低溫離（lí）子鍍膜電源 | ||||||
| 充氣係統 | 質量流量（liàng）計（jì） | 質量流量計 | 質（zhì）量流（liú）量計 | 質量流量計 | 質量（liàng）流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
| 控製方式 | 手（shǒu）動或全自動 | ||||||
| 抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
| 備注 | 以（yǐ）上設（shè）備參數僅做參考，具（jù）體均（jun1）按客戶實際工藝（yì）要求設計訂做 | ||||||