為盡量減小
真空鍍膜(mó)機真空室(shì)形變帶來的(de)影響(xiǎng),91视频在线將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、麵活性(xìng)支撐,以吸(xī)收和隔離形變,並(bìng)設置(zhì)形變補(bǔ)償調節機構,在係統抽真空前,參照(zhào)有限元計算(suàn)提供的(de)理論數據預設適當(dāng)的補償量,以使其在真空狀態(tài)下達到(dào)平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真(zhēn)空鍍膜機就能夠讓鍍膜在(zài)真空環(huán)境下正常進行,防止外界因素的影(yǐng)響。
而為了驗證有限元計(jì)算(suàn)的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。首(shǒu)先(xiān)將四隻千分表定位在(zài)工作台安裝基(jī)點的真空壁外側,當真空室(shì)由大氣抽到真(zhēn)空時,記(jì)錄各千分表的變化量,經歸一化處理後為用激光自(zì)準直儀調整形變補償。由(yóu)水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的(de)玻璃窗照射固(gù)定於工作台上的反射鏡,在大(dà)氣環境下調整形變補償調節機構,使反射光(guāng)束進入自準(zhǔn)直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。這些數據之(zhī)後需要對其(qí)進行分析處理,得到測試結果。