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PVD 工藝過程

作者: 來源: 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5128
PVD 工藝過程
塗層(céng)技(jì)術及工(gōng)藝流程塗層技(jì)術及工藝流程塗層技術及工藝流程塗(tú)層技術及工藝流程     1.真空塗層技術的(de)發展   真空塗(tú)層(céng)技術起步(bù)時間不(bú)長,國(guó)際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化(huà)學(xué)氣相沉積)技術應用於硬(yìng)質合金刀具上(shàng)。由於   該技術需在高溫下進行(工藝溫度高於 1000ºC),塗層種類單一,局限性(xìng)很大,因此,其發展初期未免差強人意。   到了上世紀七十年代末,開始出現 PVD(物(wù)理氣(qì)相沉積) 技術,為真空塗層開創了一個充滿燦爛前景的新天地,之後在短短的二、三十年間PVD 塗層技術得到迅猛發展,究其原(yuán)因,是因為其在真空密封的腔體內(nèi)成膜(mó),幾乎無任何環境汙染問題,有(yǒu)利於環保;因為其能(néng)得到光(guāng)亮、華貴的表麵,在顏色(sè)上,成熟的有七彩色、銀色、透(tòu)明(míng)色、金黃色(sè)、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,可謂五彩繽紛,能(néng)夠滿足裝飾性(xìng)的各種需要;又(yòu)由於 PVD 技(jì)術,可以輕鬆得到其他方(fāng)法難以獲得的(de)高硬度、高耐磨性的陶瓷塗層、複合塗層,應用在工裝、模具上麵,可以使(shǐ)壽命成倍提高,較好地實現了低成本、高收益的效果;此外, PVD 塗層技術具有低(dī)溫、高能兩個特點,幾乎可以在任何基材上成膜,因此,應用範圍(wéi)十分廣闊(kuò),其發展神(shén)速也就不足為奇。   真空(kōng)塗層技術發展(zhǎn)到(dào)了今(jīn)天還出(chū)現了PCVD(物理化學氣相沉積)、MT-CVD(中溫化學氣相(xiàng)沉積)等新技(jì)術,各種塗層設備、各種塗層工藝層出不窮,如今在這一領域中,已呈現出(chū)百花(huā)齊(qí)放,百(bǎi)家爭鳴的喜人景象(xiàng)。   與此同時,91视频在线還應該清醒地看到,真空塗層技術(shù)的發展又是嚴重不平衡(héng)的。由於刀具、模(mó)具的工作環境極其(qí)惡(è)劣,對薄膜附著力的要求,遠高於裝(zhuāng)飾塗(tú)層。因而,盡管裝(zhuāng)飾塗層的廠家已遍布各地(dì),但能(néng)夠生產工模塗層的廠家並不多。再加上刀具、模具塗(tú)層售後服務(wù)的欠缺(quē),到目前為(wéi)止,國內大多數塗層設備廠家都不能提供完(wán)整(zhěng)的刀具塗層工(gōng)藝技術(包(bāo)括前處(chù)理工藝、塗層(céng)工藝、塗後處理工藝、檢(jiǎn)測技術、塗層(céng)刀具和模具的應用技術等),而且,它還要求工藝技術人員,除了精(jīng)通塗層的專(zhuān)業知識(shí)以外,還應具有紮實(shí)的金屬材料與熱處理知識、工模塗層前表麵預處理知識、刀具、模具塗層的合理選擇以及上機使用的技術   要求等,如果任一環節出現問題(tí),都會給使(shǐ)用者產生(shēng)使用(yòng)效果不(bú)理想這樣的結論。所有這些,都嚴重製(zhì)約了該技術在刀具、模具上的應用。   另一方麵,由於該技術是一門介乎材料學、物理學、電子、化學等學科的新(xīn)興(xìng)邊緣學科,而國內將其應用於刀具、模具生產(chǎn)領域(yù)內的為數(shù)不多的幾個骨幹廠家(jiā),大多走的也是一條(tiáo)從國外引進先進設備(bèi)和工藝技術的(de)路子,尚需一個消化、吸(xī)收的過程,因此,國內目前在(zài)該領域內的技(jì)術(shù)力量與其發展很不相稱,急需奮起直追。   2. PVD 塗層的(de)基本概念及其(qí)特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫(xiě)形式,意思是物理氣相沉積(jī)。91视频在线(men)現在一般地把真空蒸鍍、濺射(shè)鍍膜、離子鍍等都稱為物理氣相沉積。   較為成熟的 PVD 方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設備結構簡單,容易操作。它的離子蒸發源靠電焊機電源供電即可(kě)工作,其引弧的過(guò)程也與(yǔ)電焊類似,具體地說,在一定工藝氣壓下(xià),引弧針與蒸發離子(zǐ)源短暫接觸,斷開(kāi),使氣體放電。由於多弧鍍的成因主要是借助於不(bú)斷(duàn)移動的(de)弧斑,在(zài)蒸發源表麵上連續形成熔池,使金屬蒸發後,沉積在基體上而得到薄膜層的(de),與(yǔ)磁控濺射相比,它不但(dàn)有靶材利用率高,更具有金屬離子離化率高,薄膜(mó)與基(jī)體之間結合力強的優點。此外,多弧鍍塗層顏色較為穩定,尤其是在做 TiN 塗(tú)層時,每一批次均容易得到相同穩定的金黃色,令磁控濺射法望(wàng)塵莫及。多弧鍍的不足之處是,在用傳統的 DC 電(diàn)源做(zuò)低溫塗層條件下,當塗層厚度達到0.3μm 時,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄(báo)膜表麵開始變朦。多弧鍍另一個不足之處是(shì),由於金屬是熔後蒸(zhēng)發,因此(cǐ)沉積顆粒較(jiào)大(dà),致密度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差。   可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優劣,為了盡可(kě)能地發揮它們各自的優越性,實現互補,將多弧(hú)技術與磁控技術合而為一的塗層機應(yīng)運而生。在工藝上出現了(le)多弧鍍打底(dǐ),然後利用磁控濺射法增厚塗層(céng),最後再利用多弧(hú)鍍達到最終穩(wěn)定的表(biǎo)麵塗層顏(yán)色的新方法。   大約在八十年代中後期,出現了熱陰極電子(zǐ)槍蒸發(fā)離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜機,應用效果很好,使TiN 塗層刀具(jù)很快得到普及性(xìng)應用。其中熱陰極電子槍蒸發(fā)離子鍍,利用銅坩堝加熱融化(huà)被(bèi)鍍金屬(shǔ)材料,利用鉭燈絲(sī)給工(gōng)件加熱、除氣,利用電子槍增強離化(huà)率,不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 塗層,而且其結合(hé)力、耐磨性均(jun1)有不俗表現,甚至用打(dǎ)磨(mó)的方法都難(nán)以除去。但是這些設備都隻(zhī)適合於 TiN塗層,或純金(jīn)屬薄膜。對於多元塗(tú)層或複合塗層,則力不從心,難以(yǐ)適(shì)應高硬度材料高速切   削以及模具應用多樣性的要求(qiú)。   3. 現代塗層設備(均勻加熱技術、溫度(dù)測量技術、非平衡磁控(kòng)濺射技術、輔助陽極技術、中頻電源、脈衝技術) 現代塗層設備主要由真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入(rù)係統、機械傳動部分、加熱及測溫部件、離(lí)子蒸發或濺射源、水冷係統等部分(fèn)組成。   3.1 真空室   塗層設備主要有連續塗層(céng)生產線及單室塗層機兩種形式,由於工模塗層對加熱及(jí)機(jī)械傳動部分有較高要求(qiú),而且工模形狀、尺寸千(qiān)差萬別,連續塗層生產線通常難以滿足要求,須(xū)采用單室塗層機。   3.2 真空獲得部分   在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分。由於工模件塗層高附著力的要(yào)求,其塗層工藝開始前(qián)背景真空度最好(hǎo)高於6mPa,塗層工藝結束後真空度甚至可達 0.06mPa 以(yǐ)上,因此(cǐ)合理選擇真空獲得設備,實現高真空(kōng)度至關(guān)重要。   就目前來說,還沒有一種泵能從大氣壓一直工作到接近超高真空。因(yīn)此,真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的,必須(xū)將幾種泵聯合使用,如機(jī)械泵、分子泵係統(tǒng)等。   3.3 真空測量(liàng)部分(fèn)   真空係統的真空測量部分,就是要對真空室內的壓強進行測量。像(xiàng)真空泵(bèng)一樣,沒有一種真空計能測量整個真空範圍,人們於是按不(bú)同的(de)原理和要求製成了許(xǔ)多種類的真空計。   3.4 電源供給部分靶電源主要有直流電源(如 MDX)、中頻電源(如美國 AE公司生產的 PE、PEII、PINACAL);工件本(běn)身通常需加直流電源(如 MDX)、脈衝電源(yuán)(如美國AE公司生產(chǎn)的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體(tǐ)輸入係(xì)統   工藝氣體(tǐ),如氬(yà)氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等(děng),一般均由氣瓶供應,經氣體減壓閥(fá)、氣體截止閥、管路(lù)、氣體流量計、電磁閥、壓(yā)電閥,然後通入真空室。這種氣體輸(shū)入係統的優點是,管(guǎn)路簡捷、明快,維修或更換氣瓶容易(yì)。各塗層機之間(jiān)互不影響。也有多台塗層機共(gòng)用一組氣瓶的情況,這種情況在一些規(guī)模較大的塗層車間可能有機會看到。它的好處是,減少氣瓶占用量,統一規劃(huá)、統一布局。缺點是,由於接(jiē)頭增多,使(shǐ)漏氣機會增加。而且,各塗層(céng)機(jī)之間會互相幹擾,一台塗層機的管路漏氣(qì),有可能會影響到(dào)其他塗層機的(de)產品質量。此(cǐ)外,更換氣瓶時,必須保(bǎo)證所有主機都處(chù)於(yú)非用氣狀態。   3.6 機(jī)械傳動(dòng)部分   刀具塗層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在塗(tú)層過程中須有三個轉動量才能滿足要求。即在要求大工件台轉動(I)的同時,小的工件承載台也轉動( II),並且工件本身還能同時(shí)自轉(zhuǎn)(III)。   在機械設計上,一般是在大工件轉(zhuǎn)盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍(wéi)是一些(xiē)小的星行(háng)輪與之齧合,再(zài)用撥叉撥動工件(jiàn)自轉。當然,在做模具塗層時,一般有兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須大大增強。   3.7 加熱及測溫(wēn)部分   做工模塗層的時候,如何保證被鍍工件均勻加熱比裝飾塗   層加熱要重要得多。工(gōng)模塗層設(shè)備一般(bān)均有前後兩個加(jiā)熱器,用熱電偶測控溫度。但是(shì),由於熱電偶裝夾的為置不同(tóng),因而,溫度讀數不可能是(shì)工(gōng)件的真(zhēn)實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方法,這裏介紹(shào)一種簡便易行的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫度計(jì)的工作原理是,當溫度計受熱,底部(bù)的彈簧將受熱膨脹,使指針推動定位指針旋轉,直到最高溫度。降溫的時候,彈簧收縮,指針反向旋轉,但定位指針維持在最高溫度位置不動(dòng),開門後,讀取(qǔ)定位指針指(zhǐ)示的溫度,即為真空室內加熱時,表麵溫度計放置位置所曾達到的最高溫度值。   3.8 離子蒸發及濺射源   多弧鍍的蒸發源一般為圓餅形,俗稱圓餅靶,近幾年也出現(xiàn)了長方形(xíng)的多弧靶,但未見有明(míng)顯效果。圓餅靶裝在銅靶座(陰(yīn)極座(zuò))上麵,兩者為羅紋連接。靶座中裝有(yǒu)磁鐵,通過前後移動(dòng)磁鐵,改變磁(cí)場強(qiáng)度,可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶及靶(bǎ)座的溫度,要給靶(bǎ)座不斷通(tōng)入冷卻水(shuǐ)。為了保證靶與靶座之(zhī)間的高導電、導熱性,還可以(yǐ)在靶與靶座之間加錫(Sn)墊片。磁控濺射鍍(dù)膜一般采用長方形或圓柱形靶材,   3.9 水冷係統   因為工模塗層時,為了提高金屬原子的離化率(lǜ),各個陰極靶座都盡可能地采用大的功率輸出,需要充分冷卻;而且(qiě),工模塗層中的許多(duō)種塗層,加熱溫度為(wéi) 400~500ºC,因此,對真空室壁、對各個密封(fēng)麵的冷卻也很重(chóng)要,所以冷卻水最好采(cǎi)用18~20ºC 左(zuǒ)右的冷水機供水。為了防止開門(mén)後,低溫的真空室壁、陰極靶與熱(rè)的空(kōng)氣接觸析出水珠,在開門前 10 分鍾左右,水冷係統應有能力切換到供熱(rè)水狀態,熱水溫度約(yuē)為 40~45ºC。   4. 工(gōng)模具PVD 的(de)工作步驟   工模具 PVD 基本工藝流程可簡述為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別介紹如後(hòu)。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的(de)主要工(gōng)作除了常規(guī)的清點數量   ,   檢查圖紙(zhǐ)與(yǔ)實物是否相符外,還須仔細(xì)檢查工件表麵,特別是(shì)刃口部位有無裂紋等缺陷。有時對於一些刀具、刀粒的刃(rèn)口,在體式顯(xiǎn)微鏡下觀察,更方便發現問題;另外,IQC 的人員還要注意檢查待鍍膜件有無塑膠、低熔點的焊料(liào)等,這些東(dōng)西如果因漏檢而混入鍍(dù)膜(mó)程(chéng)序,則將在真空(kōng)室(shì)內(nèi)嚴重放(fàng)氣,輕者造成整批產品脫塗層,重(chóng)者使原本 OK 的產品報廢,後(hòu)果不堪設想。   4.2 前處(chù)理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋(pāo)光、清洗)   前處理的目的是淨(jìng)化(huà)或粗(cū)化工件表(biǎo)麵(miàn)。淨化就是要去除各種(zhǒng)表麵玷汙物,製備潔淨表麵。通常使用各種淨化劑,借(jiè)助(zhù)機械(xiè)、物理或化(huà)學的方法進行淨化(huà)。   粗化與光蝕相反,其目(mù)的在於製備粗糙的表麵以提高噴塗層或(huò)塗料(liào)裝飾的(de)結構(gòu)強度。91视频在线現在已有的前處理主要方法為:高(gāo)溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高(gāo)溫蒸洗(xǐ)   目前(qián),PVD 車間常用的高溫蒸洗設備是(shì)蒸汽槍(qiāng)。它的最大工作溫(wēn)度可達 145?C,氣壓(yā)在 3~5 巴左右。由於模具中經常帶(dài)有一些(xiē)細小孔、螺紋孔,孔內中常常有油汙、殘餘冷卻液等雜質,用常規清洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗設備便可最(zuì)大(dà)程度的(de)發揮它的(de)優越(yuè)性。   
4.2.2   清洗   各廠工模塗(tú)層前清(qīng)洗程序大致如(rú)下:   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除油→4.過水→5. 超聲波自換→6.過水→7.過純水→8.強風幹燥   具體實施時,與91视频在线所熟悉的裝飾塗層前的清洗(xǐ)又有許(xǔ)多不同。這是因為裝飾塗層的底材(cái)大多為不鏽鋼或鈦合金,不容(róng)易生鏽。此外,裝飾塗層對水印、點(diǎn)痣等缺陷是絕對不允(yǔn)許的。因此,裝飾塗(tú)層對純水的水質要求極高,甚至要達到 15MΩ 以上。要保證(zhèng)清洗的(de)高質量,可以通過反複(fù)清洗,並在高質量的純水加超(chāo)聲波中長(zhǎng)時間浸泡(pào)來得到。但是,工(gōng)模的清洗就不同,尤其是一些熱做模具鋼,如果像裝飾塗層那樣(yàng)去清洗,就會鏽得(dé)一塌糊塗(tú)。   由於工(gōng)模(mó)塗層(céng)的原始表麵狀態,除了一些高標準(zhǔn)的鏡麵模具以外,一般較(jiào)裝飾塗層要粗糙,因而,對(duì)塗層後的表麵狀態的要(yào)求也不象裝飾塗層那樣高,這就允許91视频在线采取快速過水(shuǐ),用幹(gàn)燥、無油的壓(yā)縮空(kōng)氣吹幹,然後對工模強風幹燥的方法來處(chù)理。而那(nà)些高標準的鏡麵模具,一般(bān)均為136 等不鏽鋼,可以借用裝飾塗(tú)層的清洗法。   總而言之,工模塗層前的(de)清洗(xǐ)方法因工模所使用的材料的不同而不同,因工模塗層前的表麵狀態的不同而不同,且不可千篇一律。下麵是幾種材料(liào)生鏽由難到易的排序,供參考:
不鏽鋼(gāng)、硬質合金、金屬陶瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有一種自動清洗機型號為 CR288,產自德(dé)國(guó)。該機一次最大   清洗量為 80KG,主要用於清洗刀具、小型零部件(jiàn)、或小尺寸的模具。它(tā)共有三個清(qīng)洗(xǐ)缸,裏麵的(de)溶液分別為自來水+清洗劑、自來水、去離子(zǐ)水。除了常見的超聲波、大(dà)水衝洗、噴淋、擺動(dòng)、熱風幹燥等(děng)功能外,該機另外一個優點是最後設有抽(chōu)真空步驟,可以使(shǐ)水分盡快揮發掉(diào)。   自動清洗(xǐ)機內存十種工藝,均由供方預先設定。一至九可分(fèn)別用於不同(tóng)類型的(de)產品、不同的表麵狀態的淨化處理。第十種用於加注清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法是借助壓縮空氣使磨(mó)料(liào)強力衝刷工件表麵,從而去除鏽蝕、積碳、焊渣、氧化皮、殘鹽、舊漆層等表麵缺(quē)陷。按磨料使用條件,噴(pēn)砂分為幹(gàn)噴(pēn)砂與濕噴砂兩類。   噴砂的(de)工藝參數主要有槍距、傾角、裝夾台旋轉速度、移動速度、行程、往返次數、噴砂時間、噴砂氣壓。91视频在线已使用過的參數有槍(qiāng)距:30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾(jiá)台旋轉速度 10~30;往返次數 3~9 次;噴砂氣壓:1.8~3.5 巴等。具體操作時(shí),根據工件(jiàn)表麵髒汙程度,工件硬度,工件表麵幾何形狀等因素,選取上下限。我(wǒ)們在幹噴(pēn)砂機中所選用的磨料為玻璃珠,適合(hé)噴一些硬度介中的材料,如油鋼、模具等;在液體噴砂機中所選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些(xiē)硬度高(gāo)的材料,如硬質合金材料。對於工模塗(tú)層而言,噴砂所使用的磨(mó)料(liào)粒度也很重(chóng)要。如果磨料粒度過大,則工(gōng)件表麵太粗糙;如果磨料粒度(dù)太小,又會降低衝擊力度,甚至嵌(qiàn)在工件表麵,清洗難以去除,從而使工件塗層附著力降低。為此,歐洲一些國家,對工模塗層前噴砂   所用磨料粒度做過仔細研究,嚴格到必須保證 85%以上的晶粒度在中(zhōng) A、B 兩點範(fàn)圍內才能使用。相比之下,我國磨料的供(gòng)應商還缺乏這方麵的共識,91视频在线也很少有做這方(fāng)麵的檢驗。   4.3 PVD 塗層工藝(加熱、離子清洗、塗層、冷卻、工藝氣體、氣(qì)壓、溫度、濺射功率)   4.4 FQC   FQC 的英(yīng)文全(quán)拚為(wéi):“Function Quality Control”,意思(sī)是功能質量控製,它有別與(yǔ)一(yī)般意(yì)義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要包括外(wài)觀檢查(chá)、層深檢查、附著力檢(jiǎn)查、耐磨性檢查、抗(kàng)蝕性檢查、模擬性測試等方法。我(wǒ)廠目前應用的主要有外觀(guān)檢查、層深檢(jiǎn)查和附著力檢(jiǎn)查。由於91视频在线(men)所接觸的產品大多(duō)都是不允許做破壞性檢查的,因而91视频在线在(zài)鍍膜時,每批都會放進隨批試樣。做層深檢查和附著力檢查的時候,大多數情況下,實際上是對隨批試樣進行檢查。因為試樣與產品在原材料、熱處理狀(zhuàng)態、裝夾位(wèi)置等方麵都難於一致,所以這樣檢測出的結果,與產品實際值會有(yǒu)一定的誤差。有(yǒu)時可能還會有相當(dāng)大的誤差,隻能做參考使用。當然,必要的時候,91视频在线也可以通過製作模擬件,達到準確測量的目的。  
 4.4.1   外觀檢
對於開門(mén)取(qǔ)件(jiàn)後的產品,應仔細檢查表麵有無裂(liè)紋(wén)、掉塗層、疏鬆等缺陷。對於刀具、刀粒,還需在顯微鏡下仔細檢查它們的刃口狀態。   4.4.2   層深檢查   層深檢查有切片金相觀察法、X-ray 檢查法(fǎ)、用單色光(guāng)做光源的光學測試法、球磨(mó)儀(yí)測試法等多(duō)種方法。工模塗(tú)層的層(céng)深檢查是在球(qiú)磨儀上進行的。方法是先用直(zhí)徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨,然後在顯微鏡下測量磨痕的有關數據,帶入公(gōng)式中,即可方便算出層深。   這種層深檢查法的特點是:方便適用,誤差稍(shāo)大。但這種(zhǒng)誤差應用於(yú)工模上麵(miàn)影響不會太大。有興趣的同事還可參閱有關的說(shuō)明書。附著力的檢查方法有很多,各個廠根據自己產品的(de)特點,都製定了相應的檢測方法(fǎ)。其中,比(bǐ)較權威的方(fāng)法有兩種(zhǒng),一種是在洛氏硬度計上,以圓錐型(xíng)金剛石壓頭做壓痕試驗,在顯微鏡下觀察,以壓痕周邊裂紋的多少來判斷塗層附著力的高低。該方法(fǎ)對金剛石壓頭的(de)形狀要求很高,不但嚴格要求(qiú)中心點在圓的中心,而且金剛石圓錐的圓度必須十分規則。遺憾的(de)是,目前,我國(guó)還沒有它的國(guó)家或行業標準;另一種方法是劃痕法,我國(guó)有些塗(tú)層發起較早的科研部門,也是采(cǎi)用的該(gāi)方法,有專門(mén)的(de)國家(jiā)行業標準可供查詢。   5. 工裝夾具的處理   6. 塗後處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋光處理)   7. 檢測技(jì)術(結(jié)合力的檢測、層深的檢測、酸蝕)   8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的(de)剝離(lí)技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離(lí)技術、硬質(zhì)合金的表(biǎo)麵塗層剝離技(jì)術)   9.塗(tú)層刀具的應用技術(塗層的正確選擇、塗層刀具的正確使用   塗層對刀具的優化非常大,由於高速切削(xuē)加工比傳統切削加工(gōng)所產生的溫度要(yào)高(gāo),應用塗(tú)層,可以發揮其耐高溫、抗氧化及加硬材質等作用。例如,氮化(huà)鉻(CrN)塗層(céng)可降低磨擦係數,改善光潔度及排屑情況 



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