1、真空鍍（dù）膜設備每完（wán）成200個鍍膜程序以上，應清潔工作（zuò）室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液（yè）反複擦洗真（zhēn）空室內壁，( 注意人體皮膚不（bú）可以直接接觸燒堿溶液，以（yǐ）免灼傷)目的是使鍍上去的膜（mó）料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣（qì）。再用清水清（qīng）洗真（zhēn）空室和用布沾汽油清洗精抽（chōu）閥（fá）內（nèi）的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥（fá）泵，旋片泵)連續工作一個月(雨季減半)，需更（gèng）換新油。方（fāng）法是:擰開放油螺栓，放掉舊油（yóu），再將泵（bèng）啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放（fàng）油螺栓，加入新油至額定量(油（yóu）視鏡觀（guān）察)。連續使用半年以上，換油（yóu）時應將油蓋（gài）打開，用布擦幹淨（jìng）箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變（biàn）慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下（xià）電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽（dǎn）清（qīng）洗一遍，再（zài）用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹（chè）底清洗幹淨，待水份揮發幹以後（hòu），裝好泵膽，加入新擴（kuò）散泵油，並裝回機體，接好（hǎo）水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意（yì）檢漏工作。方（fāng）法是:啟動維持泵，關好大（dà）門，數分鍾後，觀察擴散泵部（bù）分真空（kōng）度是否達到6X10帕，否則要進（jìn）行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則（zé）擴（kuò）散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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