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磁控濺射膜厚均勻性設(shè)計方法

作者: 來(lái)源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣:17196

磁控濺射鍍膜是現代(dài)工業中不可缺少的技術(shù)之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、

抗腐(fǔ)蝕膜、磁(cí)性膜、增透膜、減反膜以及(jí)各(gè)種裝飾膜,在國防和國民經濟生產(chǎn)中的作用和地位日益強大。


鍍膜(mó)工藝中的薄膜厚度均(jun1)勻性,沉積速率,靶材利用率等方麵(miàn)的問題是實(shí)際生產中十分關注的。
解決這些實際問(wèn)題(tí)的方法是對涉及濺射沉積過程的(de)全部因素進行整體的優化設計,建立(lì)一個濺射鍍膜的綜合設計係統。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺射沉積過(guò)程的最重要(yào)參數之一,因(yīn)此對膜厚均勻性綜合設計的研究具有重要的理(lǐ)論和應用價值。

磁控濺射技(jì)術(shù)發展過(guò)程中各項技術的突破一般集中在等離子體(tǐ)的產(chǎn)生以及對等離(lí)子體(tǐ)進行的控(kòng)製等(děng)方麵。

通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子(zǐ)分布參數的控製(zhì),使膜層質量和屬性滿足各行業的要(yào)求。


膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息相關,如靶的刻(kè)蝕狀態,靶的電磁場設計等(děng),

因此,為保證膜厚均勻性,國外(wài)的薄膜製備公司或鍍膜設備製(zhì)造公司都有各自的關於鍍(dù)膜設備(包括核心部件“靶”)的整套(tào)設計方案。

下一個(gè):真空鍍膜設備氣體分布
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