磁控濺射鍍膜是現代(dài)工業中不可缺少的技術(shù)之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、
抗腐(fǔ)蝕膜、磁(cí)性膜、增透膜、減反膜以及(jí)各(gè)種裝飾膜,在國防和國民經濟生產(chǎn)中的作用和地位日益強大。
磁控濺射技(jì)術(shù)發展過(guò)程中各項技術的突破一般集中在等離子體(tǐ)的產(chǎn)生以及對等離(lí)子體(tǐ)進行的控(kòng)製等(děng)方麵。
通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子(zǐ)分布參數的控製(zhì),使膜層質量和屬性滿足各行業的要(yào)求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息相關,如靶的刻(kè)蝕狀態,靶的電磁場設計等(děng),
因此,為保證膜厚均勻性,國外(wài)的薄膜製備公司或鍍膜設備製(zhì)造公司都有各自的關於鍍(dù)膜設備(包括核心部件“靶”)的整套(tào)設計方案。