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真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣(qì):2010

真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍 

真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們都(dōu)是采用在真空(kōng)條件下,通(tōng)過蒸餾或濺射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和非金屬(shǔ)薄膜,通過這樣的方式可以得到(dào)非常薄的表麵鍍層(céng),同(tóng)時具有速度快附著力(lì)好的突出優點,但是價格也(yě)較高,可以進行操作的金屬類型較少,一(yī)般用來作較高檔產品的功能性鍍層


真空蒸鍍法(fǎ)是在高真空下為金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金屬(shǔ)薄膜的(de)方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成(chéng)形(xíng)品表麵的微小凹凸部分填平,以獲得如鏡麵一樣的表(biǎo)麵,無(wú)任是為了(le)得到反射鏡作用(yòng)而(ér)實施真空蒸鍍,還是對密接(jiē)性(xìng)較低的奪鋼進行真空蒸鍍(dù)時,都必須進行底麵塗(tú)布(bù)處理。


濺鍍通常指的是磁(cí)控濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空(kōng)狀態充入惰性(xìng)氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金(jīn)屬靶材(陰極)之(zhī)間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體,產生等離子體,等離子體將(jiāng)金屬靶材的原子轟出,沉積在(zài)塑膠基材上。一般金屬鍍膜大都采用直(zhí)流濺(jiàn)鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。


離(lí)子鍍是在真空條件下,利用氣體放(fàng)電(diàn)使氣體或被蒸發物質部分電離,並在氣體離(lí)子或(huò)被(bèi)蒸發物質離子的轟擊下,將(jiāng)蒸發物質或其反應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子(zǐ)鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸(zhēng)鍍法)、多弧離(lí)子鍍(陰極電弧離子鍍)等

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