微（wēi）信掃一掃 關注浦元最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主要是由（yóu）氣（qì）體在高電磁場作用下發生解離，形（xíng）成一種包括電子（帶負電），正離（lí）子（帶正電），自由基和中性氣體分子組成的高活性物（wù）質，通產情況下會發光。
一般情況下，等（děng）離（lí）子中的正電荷數等於負電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中（zhōng）見到的（de）閃電、日光燈、霓虹（hóng）燈就是等離子體發光現象（xiàng）。
等離子的產（chǎn）生（shēng）有很（hěn）多種方法，但生成和維持都需要外部能量的輸入。
電（diàn）子從外加電磁場獲得能量，然（rán）後發生非彈性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子（zǐ）等物質，然而在解離碰撞中，電子可能與氣體離子有再結合（hé）作用，或者因為漂移及擴散而離（lí）開電磁場範圍等原因消失（shī），因此當電子產生與消失的速率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列（liè）舉（jǔ）四種ETCH常用產生plasma的（de）方法，後麵會詳解（jiě）介紹。
三、等離子體的參數（shù） plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子（zǐ）與粒子（zǐ）碰撞（zhuàng）前能夠移動的（de）平均距（jù）離。MFP與環境壓（yā）力P呈反比，壓力（lì）越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是（shì）為什麽plasma產生要在低壓近似真空環境下產生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠的（de）能力來使用氣體離子化。